真空箱檢漏系統(tǒng)基本功能：等壓抽真空-He檢漏-He回收-充SF6設(shè)備
設(shè)備工作的基本原理：
1、該裝置同步對(duì)工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大于工件允許或需要的值（可按
產(chǎn)品實(shí)際情況在≤0.08MPa 范圍內(nèi)任意設(shè)定）檢大漏。
2、再將真空抽到一致，然后對(duì)被檢工件充注氦氣使工件和真空箱內(nèi)壓差達(dá)允許值，應(yīng)用真
空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)，判斷出被檢工件中的合格與不合格；有漏的工件應(yīng)用吸槍法
進(jìn)行氦質(zhì)譜檢測(cè)，判斷出被檢工件漏點(diǎn)的位置。
3、然后將被檢工件內(nèi)的氦氣經(jīng)過濾、除水后回收，供循環(huán)使用。
4、最后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的 SF6 氣體。根據(jù)充氣時(shí)的環(huán)境溫度、開關(guān)使用海拔高度或
要求充氣壓力，設(shè)備可自動(dòng)換算出應(yīng)充壓力值并控制充氣過程；充氣時(shí)真空箱充入空氣（或
氮?dú)猓ぜ淙?nbsp;SF6。
